2025年12月2日，“智匯中山·科創(chuàng)講堂”—激光產(chǎn)業(yè)發(fā)展與應(yīng)用技術(shù)交流會(huì)暨火炬高新區(qū)光電產(chǎn)業(yè)技術(shù)對(duì)接活動(dòng)在廣東中山隆重舉行。華日激光受邀出席，與來(lái)自華中科技大學(xué)、長(zhǎng)春理工大學(xué)的專(zhuān)家學(xué)者及眾多行業(yè)精英，共同探討激光產(chǎn)業(yè)的未來(lái)發(fā)展。華日激光謝戈輝博士發(fā)表主題《國(guó)產(chǎn)超快激光在半導(dǎo)體量測(cè)的應(yīng)用》演講，展示了華日激光在半導(dǎo)體量測(cè)領(lǐng)域的最新突破與國(guó)產(chǎn)化應(yīng)用前景。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)是精密制造與良率控制的競(jìng)爭(zhēng)，在芯片制程不斷微縮的今天，如何“看清”納米級(jí)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)？華日激光給出了國(guó)產(chǎn)化的硬核答案！半導(dǎo)體量測(cè)是芯片制造的“眼睛”。謝戈輝博士指出，隨著晶圓制造工藝的復(fù)雜度提升，傳統(tǒng)的檢測(cè)手段已難以滿足需求，超短脈沖激光憑借極端光學(xué)特性，成為了科研與工業(yè)界的革新性工具。

在演講中，謝戈輝博士重點(diǎn)展示了華日激光的兩大核心技術(shù)應(yīng)用：

1.飛秒超聲技術(shù)：芯片內(nèi)部的“B超”針對(duì)不透明樣品及多層薄膜結(jié)構(gòu)，華日激光利用飛秒超短脈沖“泵浦-探測(cè)”（Pump-probe）技術(shù)，利用超快飛秒的時(shí)間分辨率，可以精確探測(cè)到納米級(jí)別的微小結(jié)構(gòu)變化，成功應(yīng)用于薄膜厚度量測(cè)及芯片內(nèi)部連接的探測(cè)，這是一種非接觸式的無(wú)損檢測(cè)（NDT）技術(shù)。

2.雙光梳光譜技術(shù)：高精度的“光譜指紋”謝戈輝博士介紹了利用雙光梳技術(shù)進(jìn)行微納成像突破，該技術(shù)無(wú)需機(jī)械掃描，即可實(shí)現(xiàn)高精度、高速度、高分辨的光學(xué)測(cè)量，為半導(dǎo)體微納結(jié)構(gòu)的3D成像提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。

核心突破：Glow系列517nm綠光飛秒激光器，對(duì)標(biāo)國(guó)際一梯隊(duì)。

謝戈輝博士強(qiáng)調(diào)：高精度的量測(cè)，離不開(kāi)信噪比低的激光器。在半導(dǎo)體量測(cè)中，激光的相對(duì)強(qiáng)度噪聲和時(shí)間抖動(dòng)是決定測(cè)量信噪比的關(guān)鍵。Glow綠光飛秒激光器針對(duì)量測(cè)做以下優(yōu)化：

● 低噪聲：新型腔型設(shè)計(jì)與被動(dòng)噪聲抑制方案、精確控制腔內(nèi)色散與非線性效應(yīng)，降低信噪比

● 高穩(wěn)定：支持7*24h連續(xù)運(yùn)行，內(nèi)置光學(xué)隔離，全光纖放大穩(wěn)定性高，免維護(hù)

● 易集成：風(fēng)冷散熱，一體化工業(yè)設(shè)計(jì)，易集成

極致的低噪與穩(wěn)定性，提高了測(cè)量精度、靈敏度、效率及穩(wěn)定性上限，使得國(guó)產(chǎn)激光器在性能上已具備與國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品同臺(tái)競(jìng)技的實(shí)力，滿足飛秒激光在半導(dǎo)體檢量測(cè)等高端應(yīng)用中的嚴(yán)苛要求。華日激光正以“中國(guó)制造”的硬實(shí)力，打破國(guó)外壟斷，為從芯片設(shè)計(jì)到晶圓制造的每一個(gè)環(huán)節(jié)注入光能。未來(lái)，華日激光將繼續(xù)攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴，聚焦客戶挑戰(zhàn)，用更精密、更穩(wěn)定的國(guó)產(chǎn)光源，照亮中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控之路。