近日，中國半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域傳來重磅捷報。江蘇影速集成電路裝備股份有限公司（以下簡稱“影速集成”）正式宣布，其完全自主研發(fā)的FEM2000激光直寫曝光設(shè)備已成功出貨，交付予北京某半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)的龍頭企業(yè)。這一事件遠(yuǎn)非尋常的設(shè)備交付，它標(biāo)志著我國在高端顯示核心制造裝備打破了日韓企業(yè)在該環(huán)節(jié)長達(dá)數(shù)十年的技術(shù)壟斷，為“中國屏”邁向高端化、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈自主可控注入了最核心的動能。

　　打破壟斷，攻克顯示制造“最后堡壘”

　　在面板制造復(fù)雜繁冗的工藝流程中，曝邊、打碼以及金屬掩模版（FMM/CMM）的制造環(huán)節(jié)，因其技術(shù)門檻極高、工藝精度要求嚴(yán)苛，一直是國產(chǎn)設(shè)備難以逾越的技術(shù)高地。長期以來，這些核心設(shè)備與工藝幾乎完全依賴日本、韓國進(jìn)口，不僅采購成本高昂、售后服務(wù)受限，更關(guān)鍵的是，這使得中國龐大的顯示產(chǎn)業(yè)在供應(yīng)鏈安全上存在“卡脖子”的隱憂，產(chǎn)業(yè)升級的命脈掌握在他人之手。

　　影速集成此次交付的FEM2000設(shè)備，正是直指這一行業(yè)痛點(diǎn)。該設(shè)備成功實(shí)現(xiàn)了從G6到G10.5代線全尺寸的激光直寫曝光技術(shù)國產(chǎn)化替代。這意味著，無論是用于智能手機(jī)的中小尺寸屏幕，還是用于電視的65英寸至110英寸超大尺寸面板，中國企業(yè)都擁有了國產(chǎn)化的核心裝備選擇，從根本上筑牢了產(chǎn)業(yè)鏈安全防線。

　　硬核技術(shù)，鑄就“自主化”底氣

　　影速集成成立于2014年，自創(chuàng)立之初便深耕于激光直寫光刻技術(shù)及半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域，是一家擁有深厚技術(shù)積淀的國家級專精特新企業(yè)。公司的技術(shù)優(yōu)勢并非一蹴而就，其自主研發(fā)的雙臺面激光直接成像設(shè)備早已在高端PCB及載板制造領(lǐng)域打破了國外壟斷，并兩次被認(rèn)定為江蘇省首臺（套）重大裝備，為進(jìn)軍顯示領(lǐng)域奠定了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。

　　FEM2000設(shè)備集成了影速集成最尖端的技術(shù)成果，其優(yōu)勢體現(xiàn)在三大方面：首先，是極致的精度。設(shè)備采用先進(jìn)的激光直寫技術(shù)，無需傳統(tǒng)的掩模版，可直接在超薄且易碎的玻璃基板上進(jìn)行微米級線寬的刻畫。這一精度水平，恰好滿足了Micro LED、OLED等下一代顯示技術(shù)對精細(xì)圖形化的苛刻要求，為產(chǎn)業(yè)技術(shù)迭代提供了設(shè)備保障。其次，是卓越的靈活性。 設(shè)備具備開放式的工藝接口，能夠快速適配不同尺寸、不同材料的基板，極大地滿足了面板廠商在新技術(shù)研發(fā)階段“小批量、多型號”的試產(chǎn)需求，顯著縮短了研發(fā)周期，加速了創(chuàng)新步伐。第三，是全面的數(shù)據(jù)安全。從版圖設(shè)計(jì)到曝光參數(shù)，全部由國內(nèi)設(shè)備進(jìn)行閉環(huán)處理，杜絕了工藝數(shù)據(jù)外泄的風(fēng)險，保護(hù)了企業(yè)的核心知識產(chǎn)權(quán)。

　　賦能未來，開啟“中國智造”新篇章

　　目前，F(xiàn)EM系列設(shè)備的應(yīng)用已深入UV-Glass基板處理、FMM/CMM金屬掩模版制造、大尺寸掩模版量產(chǎn)等核心場景。其獨(dú)特的動態(tài)聚焦系統(tǒng)與多場同步曝光技術(shù)，有效突破了傳統(tǒng)光刻技術(shù)在均勻性和精度上的限制，為超大尺寸面板的良率提升提供了關(guān)鍵支撐。

　　此次FEM2000的成功交付，是一個里程碑，更是一個新起點(diǎn)。它象征著中國顯示產(chǎn)業(yè)裝備從輔助環(huán)節(jié)走向核心環(huán)節(jié)，從技術(shù)“跟跑”到與國際巨頭“并跑”的戰(zhàn)略性轉(zhuǎn)變。展望未來，隨著以影速集成為代表的國產(chǎn)裝備企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新、深度滲透，中國顯示產(chǎn)業(yè)將構(gòu)筑起愈加堅(jiān)實(shí)的安全壁壘，并在全球市場中贏得更響亮的話語權(quán)，真正實(shí)現(xiàn)從“顯示大國”到“顯示強(qiáng)國”的跨越。