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中國成為全球惟一能制造深紫外激光器的國家
由中國科學(xué)院承擔(dān)的國家重大科研裝備研制項(xiàng)目“深紫外固態(tài)激光源前沿裝備研制項(xiàng)目”今天在北京通過驗(yàn)收，使我國成為世界上惟一一個(gè)能夠制造實(shí)用化深紫外全固態(tài)激光器的國家...
2013-09-07 -
Gigaphoton公司實(shí)現(xiàn)LPP EUV激光光源20W功率輸出
近日，Gigaphoton公司在LPP光源技術(shù)的研究上取得重大的突破，實(shí)現(xiàn)了高輸出低成本的穩(wěn)定LPP光源，研制出了輸出功率達(dá)20W的LPP EUV激光光源，將進(jìn)一步推動(dòng)著極EUV光源的發(fā)展。 Gigaphoton 公司18日宣...
2013-08-24 -
華日達(dá)成月產(chǎn)150臺(tái)紫外激光器產(chǎn)能
華日消息，截止2013年7月底，武漢華日精密激光有限責(zé)任公司二期擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目已經(jīng)順利完成。生產(chǎn)能力大大提高，目前公司已經(jīng)順利達(dá)成月產(chǎn)150臺(tái)紫外激光的產(chǎn)能目標(biāo)，同時(shí)完全滿足批量可靠性的...
2013-08-07 -
EKSPLA發(fā)布50w高功率工業(yè)級(jí)全固態(tài)皮秒激光器
半導(dǎo)體激光泵浦的全固態(tài)激光器是20世紀(jì)80年代末期出現(xiàn)的新型激光器，具有體積小、重量輕、效率高、性能穩(wěn)定、可靠性好、壽命長(zhǎng)、光束質(zhì)量高等優(yōu)點(diǎn)，市場(chǎng)需求十分巨大，采用全固態(tài)激光...
2013-06-15 -
極紫外光源光刻技術(shù)離我們還有多遠(yuǎn)？
極紫外(EUV)光源可以為晶圓生產(chǎn)提供幾十瓦功率是一個(gè)重要的里程碑，預(yù)計(jì)今年稍晚些時(shí)候可以開始大批量供貨。但對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)芯片，其性能還存在嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。 回顧半導(dǎo)體光刻歷史，2...
2013-06-12 -
我國首次實(shí)現(xiàn)新型深紫外激光輸出
我國首次實(shí)現(xiàn) 新型深紫外激光輸出 在十二五863計(jì)劃新材料領(lǐng)域先進(jìn)激光材料及全固態(tài)激光技術(shù)主題項(xiàng)目支持下，中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所承擔(dān)的深紫外激光器及人工晶體關(guān)鍵技術(shù)課題取得重...
2013-05-30 -
紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)獲突破 提升核心競(jìng)爭(zhēng)力
據(jù)科技部消息，清華大學(xué)等單位共同承擔(dān)的十二五863計(jì)劃新材料領(lǐng)域紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用課題取得重要進(jìn)展，于近日通過技術(shù)驗(yàn)收。 課題組解決了厘米級(jí)BBSAG晶體生長(zhǎng)、非線性晶...
2013-05-27 -
紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)獲突破 提升核心競(jìng)爭(zhēng)力
據(jù)科技部消息，清華大學(xué)等單位共同承擔(dān)的十二五863計(jì)劃新材料領(lǐng)域紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用課題取得重要進(jìn)展，于近日通過技術(shù)驗(yàn)收。 課題組解決了厘米級(jí)BBSAG晶體生長(zhǎng)、非線性晶...
2013-05-22
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